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直讀光譜儀的光譜入射光路結構

發布時間:2020-01-10 11:03:14         點擊:501

直讀光譜儀入射光路

直讀光譜儀的入射光路指光譜儀在曝光階段,將光源激發出來后的光譜光通量全部射入光學室內凹面光柵上。在凹面光柵狹縫掃描時,入射光路輸送從汞燈發生的光進入光柵產生Hg的譜線(汞線2536nm),由光電倍增管輸出光電流信號再經過放大器放大,用微安表指示出來。當光路采用聚焦透鏡直射入射狹縫到達凹面光柵的分光系統時,不用Hg線進行入射狹縫調整,而是采用元素掃描(通常選擇基體元素)來校準入射狹縫。

入射光路結構

入射光路除入射狹縫(25m寬)之外還有球面反射鏡。它的作用是將兩個樣品臺上激發的光譜亮度全部反射到射狹縫。為了提高紫外光200nm以下元素的反射能力,凹面反射鏡表面需涂氟化鎂,入射狹縫和球面反射鏡裝在真空室內。

光路中具有兩個反射鏡,其中之一是在右樣品臺激發樣品時,使反射鏡進入光路,汞燈反射鏡退出光路,將激發光亮反射到球面反射鏡上。然后進入入射狹縫到達凹面光柵分光。

移動直讀光譜儀

移動直讀光譜儀

Hg反射鏡是供狹縫掃描時用的,當左樣品架激發樣品時,進曝光階段,Hg反射鏡將退出光路,使左樣品架激發光引入球面反射鏡,進入入射狹縫到達凹面光柵進行分光。

光路中兩個反射鏡區域處于非真空狀態。對于短紫外線的元素(CPSAsBSn等等)這是一個致命的問題。這個區域中存在氧氣、空氣、水汽將200nm以下波段的輻射吸收掉。光電直讀光譜儀無法分析這些元素的含量。氧對于從130195nm的輻射都有吸收,而在140nm附近吸收最激烈。

創想直讀光譜儀對此重新研制了新的光路結構,使得氬氣使用的含量變少了,并且使用真空泵來節省氬氣的消耗,一般平均一罐氬氣可以使用5-6天,而創想采用了這種結構后,氬氣的使用大大減少,并且上述致命問題得到解決。

 

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